真空泵應(yīng)能夠在其工作壓力下排出真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的所有氣體量。正確組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，即使選擇某個(gè)泵也可能不能滿足抽氣要求，需要組合幾個(gè)泵，相互補(bǔ)充以滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。

真空泵在大氣壓下無(wú)法工作，需要真空預(yù)處理，真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要前級(jí)泵，因此需要組合使用泵。 真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油式真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

真空泵應(yīng)安裝在路面牢固牢固的場(chǎng)地，周邊應(yīng)留出充足的空間，有利于查驗(yàn)、維護(hù)保養(yǎng)、維護(hù)保養(yǎng)。真空泵基座下應(yīng)維持路基水準(zhǔn)，基座四角處提議墊避震橡皮擦或用地腳螺栓澆制安裝，保證機(jī)械泵運(yùn)行穩(wěn)定，震動(dòng)小。

真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少?gòu)濐^。（焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）