無(wú)油干式機(jī)械真空泵（又簡(jiǎn)稱干式真空泵）是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。

        干式真空泵在進(jìn)行工作的時(shí)候，就其相互之間其實(shí)也就是會(huì)沒有什么摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候其實(shí)也就是會(huì)比較的平穩(wěn)，再者，就另外一個(gè)方面來(lái)講，對(duì)于它的噪音上其實(shí)也就是會(huì)比較的低，工作腔當(dāng)中其實(shí)也就是會(huì)沒有什么潤(rùn)滑油，也正是因?yàn)槿绱耍透墒铰輻U泵其實(shí)也就是可以抽除含有大量水蒸汽以及其少量粉塵。

        因?yàn)楦墒秸婵毡蒙系穆輻U可以直接的就制成了變螺距結(jié)構(gòu)，這個(gè)時(shí)候，它其實(shí)也就是會(huì)和等螺距結(jié)構(gòu)進(jìn)行比較，這個(gè)時(shí)候，我們其實(shí)也就是會(huì)注意到就其本身的極限真空上其實(shí)也就是會(huì)更高，就其消耗功率上其實(shí)也就是會(huì)更低，干式真空泵還具有節(jié)能以及其免維修等一系列的優(yōu)點(diǎn)。

        干式機(jī)械真空泵會(huì)應(yīng)用在了低壓化學(xué)氣相沉積當(dāng)中的多晶硅制備工藝；再者，就干式機(jī)械真空泵其實(shí)也就是會(huì)應(yīng)用了半導(dǎo)體刻蝕工藝。處于這些生產(chǎn)工藝當(dāng)中，這時(shí)候，其實(shí)也就是會(huì)用到或者是生成腐蝕性氣體與相關(guān)的研磨微粒。

        就干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用來(lái)談，除了半導(dǎo)體工藝之外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微?；烊氲奖糜彤?dāng)中，且希望微粒排出泵之外會(huì)用到此設(shè)備；就其處于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)或者是食品工業(yè)當(dāng)中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等，要注意去防止有機(jī)溶劑所造成污染，適合用干式真空泵。