真空泵從選購到使用過程中的注意事項(xiàng)有:
1、真空泵工作壓強(qiáng)范圍的選擇:在選擇真空泵的類型時(shí),需要考慮被抽真空室要達(dá)到的極限壓強(qiáng)和工作壓強(qiáng)。每種真空泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍。
2、真空泵廠家的真空泵大小的選擇:選擇真空泵的大小,就是確定真空泵的抽氣能力。真空泵大小的選擇主要根據(jù)兩點(diǎn):a)根據(jù)被抽真空室工作時(shí)所需要的工作壓強(qiáng)和室內(nèi)的大排氣流量來決定。每種泵都有其極限壓強(qiáng)和佳抽速壓強(qiáng)范圍,真空室內(nèi)壓強(qiáng)要在泵的佳抽速壓強(qiáng)范圍內(nèi)。b)根據(jù)真空室的大小和抽氣時(shí)間要求來選擇。 另外真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
3、正確地組合真空泵:由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
4、真空設(shè)備對油污染的要求:若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。